Regulus8100冷场发射扫描电镜配备加速电压减速功能,优秀的低加速电压成像能力,1kV分辨率可达0.8nm,15kV达到0.7nm,高低电压均可满足高分辨的观察。 日立专利E×B技术,无需喷镀,可直接观测不导电样品。配备电子枪内置加热器,物镜光阑具有自清洁功能。SE与BSE任意比例搭配功能,超高分辨观察性能,色差小的冷场发射电子枪 (0.2eV左右,色差越小分辨率越高),半内透镜物镜,保证分辨率1.0nm(加速电压15kV)、 1.3nm(着陆电压1.0kV)。
指标参数:
1.二次电子图象分辨率0.8nm@15kV
2.加速电压0.5~30 kV(减速着陆电压0.1~2kV)
3.放大倍数20~1,000,000
4.仪器种类:场发射
应用领域:
1.纳米材料; 2.半导体器件; 3.高分子材料; 4.生物医学; 5.新能源
主要特点:
1.搭载了色差极小的适合低加速电压高分辨率观察的冷场电子枪
2.跟前代机型相比分辨率大约提高了20%,Regulus8100:1.1 nm/1 kV
3.最大倍率从原来的100万倍提高到200万倍
4.用户辅助功能,帮助用户把仪器的高性能完全发挥出来
样品要求
所有样品需要满足无毒、无腐蚀性、无放射性、无挥发性,生物或者微生物需保证无人体致病性,签订生物安全承诺书。
本仪器不接收含铁钴镍的磁性样品、液体和熔融蒸发、挥发性样品。
样品形态:可以接受块体、薄膜、粉末
块体/薄膜样品:长、宽、高均小于1cm
粉末样品:重量大于3mg
生物组织样品:取1-2mm3, 用2.5%戊二醇固定保存
细菌及细胞样品:将菌液或细胞培养液富集到1.5ml离心管底部,体积达到黄豆大小,后用2.5%戊二醇固定保存。
检测项目
获得各种样品(金属、陶瓷、半导体、矿物、生物、高分子和复合材料等)的微观形貌、微结构和微区成分。
测试参数设置包括:电压、电流、放大倍数、标尺、扫描位置
结果展示
高粱杆横截面 | 木材横截面 |
木塑复合材料界面 |
1、不导电或导电差的样品,为什么要喷金?
SEM成像,是通过探测器获得二次电子和背散射电子的信号。如样品不导电或导电性不好,会造成样品表面多余电子或游离粒子的累积不能及时导走,一定程度后就反复出现充电放电现象(charging),最终影响电子信号的传递,造成图像扭曲,变形、晃动等现象,喷金后样品表面导电增强,从而避免积电现象。
2、喷金后,对样品形貌是否有影响?
样品表面喷金后,只是在其表面覆盖了几个到十几个金原子层,厚度只有几个纳米到十几个纳米而已,对于看形貌来说,几乎是没有什么影响的。
3、扫描电镜能谱点扫,线扫和mapping之间的区别?
能谱点扫,线扫和mapping分别是在点范围,线范围,和面范围内获得样品的元素半定量信息,线扫和mapping除此之外还能分析元素在线或面范围内的分布情况。它们的意义在于点扫可以测试材料某一位置的元素种类和含量,面扫(mapping)的意义主要在于了解材料元素的区域分布,线扫的意义在于了解材料一条线上各个点的元素含量的变化。
4、 扫描电镜和透射电镜的相似和区别?
制样上:二者对样品共同要求:固体,尽量干燥,尽量没有油污染,外形尺寸符合样品室大小要求。
区别:TEM:电子的穿透能力很弱,透射电镜往往使用几百千伏的高能量电子束,但依然需要把样品磨制或者离子减薄或者超薄切片到微纳米量级厚度,这是最基本要求。SEM: 几乎不用制样,直接观察。大多数非导体需要制作导电膜(例如喷金),绝大多数几分钟的搞定,含水的生物样品需要固定脱水干燥。
成像上:SEM的成像时电子束不穿透样品而是扫描样品表面,TEM成像时电子束穿透样品,SEM的空间分辨率一般在XY-3-6nm,TEM空间分辨率一般可以达到0.1-0.5nm。